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    快速退火爐RTP-150RL

    快速退火爐RTP-150RL產品介紹一、簡介1.1 概要RTP-150RL是在保護氣氛下的桌面式快速退火系統,以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品,工藝時間短,控溫精度高,適用最大6英寸晶片。相對于傳統擴散爐退火系統和其他RTP系統,其獨特的腔體設計、先進的溫度控制技術和獨有的RL900軟件控制系統,確保了極好的熱均勻性。 

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    快速退火爐RTP-150RL產品介紹

    一、簡介
    1.1 概要
    RTP-150RL是在保護氣氛下的桌面式快速退火系統,以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品,工藝時間短,控溫精度高,適用最大6英寸晶片。相對于傳統擴散爐退火系統和其他RTP系統,其獨特的腔體設計、先進的溫度控制技術和獨有的RL900軟件控制系統,確保了極好的熱均勻性。
     
     
    1.2 產品特點

    •  紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷

    •  燈管功率PID控溫,可精準控制溫度升溫,保證良好的重現性與溫度均勻性

    •  采用平行氣路進氣方式,氣體的進入口設置在Wafer表面,避免退火過程中冷點產生,保證產品良好的溫度均勻性

    •  大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理

    •  標配兩組工藝氣體,最多可擴展至6組工藝氣體

    •  可測單晶片樣品的最大尺寸為6英寸(150×150mm)

    •  采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,全方位保障儀器使用安全

     
    1.3 RTP行業應用

    •  氧化物、氮化物生長

    •  硅化物合金退火

    •  砷化鎵工藝

    •  歐姆接觸快速合金

    •  氧化回流

    •  其他快速熱處理工藝

    •   離子注入激活

    行業領域:

    •   芯片制造 生物醫學 納米技術

    •   MEMS LEDs 太陽能電池

    •   化合物產業 :GaAs,GaN,GaP,

    •   GaInP,InP,SiC

    •   光電產業:平面光波導,激光,VCSELs

     
     
     
    二、技術規格
    2.1參數

    RTP-RL150
    最大產品尺寸6英寸晶圓或者最大支持150×150mm產品
    溫度范圍室溫~1250℃
    最高升溫速度150℃/s
    溫度均勻度±1%
    溫控方式快速PID溫控
    降溫速度200℃/min(1000~400℃)
    腔體設計可配置大氣常壓腔體或者真空腔體
    腔體冷卻方式水冷腔體,獨立水冷源控制冷卻
    襯底冷卻方式氮氣吹掃
    工藝氣體MFC控制,常規兩路氣體,最大可擴充至6路氣體

     
     
     
     快速退火爐RTP-150RL可制作的產品
     

     
     
     
     
     
      快速退火爐RTP-150RL生產線一覽
     



    技術規格
    2.1參數

    RTP-RL150
    最大產品尺寸6英寸晶圓或者最大支持150×150mm產品
    溫度范圍室溫~1250℃
    最高升溫速度150℃/s
    溫度均勻度±1%
    溫控方式快速PID溫控
    降溫速度200℃/min(1000~400℃)
    腔體設計可配置大氣常壓腔體或者真空腔體
    腔體冷卻方式水冷腔體,獨立水冷源控制冷卻
    襯底冷卻方式氮氣吹掃
    工藝氣體MFC控制,常規兩路氣體,最大可擴充至6路氣體


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