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    tcwafer,Tcwafer熱偶,Tcwafer電熱偶介紹

    作者:admin 瀏覽量:241 來源:本站 時間:2022-02-22 09:45:08

    信息摘要:

    tcwafer,Tcwafer熱偶,Tcwafer電熱偶介紹。Tcwafer熱偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布;同時,也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化,例如:升溫,降溫過程及延遲周期等!?

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    溫度范圍:

    低溫:-150 to 700°C(硅基膠粘劑)

    高度:-150 to 1,200°C(焊接設計)

    熱電偶選型:

    ● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,372°C

    ● Type N (

    精度級別±1.1°C or 0.4%), 溫度范圍 -270 to 1,300°C

    ● Type E (

    精度級別±1.0°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,000°C

    ● Type T (

    精度級別±0.5°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 400°C

    ● Type R/S (

    精度級別±1.5°C or 0.25%) ,溫度范圍 -50 to 1,768°C





    晶圓材質:

    硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底??砂纯蛻粢蠖ㄖ苹?、形狀和尺寸。

    主要規格:

    4寸,6寸,8寸,12

    擴展線:可選絕緣層材質,接頭類型。密封的扁平電纜,可在大氣中打到10-7托。長度由客戶選

    傳感器引線:長達40英尺可定制,

    被覆材質:石英 陶瓷纖維 TEF

    絕緣材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰*

    線規20 AWG – 40 AWG

    a)主要型號有k/t/r(根據測溫范圍以及精度要求選型)

    k型適合:0°c -600°c,精度級別為±1.1°c or ±0.4%

    t型適合:200°c以下,精度級別為±0.5°c or ±0.4%

    r型適合:0°c-1100°c,精度級別為0.1%

    b)產品主要規格有:2/4/6/8/12

    c)溫接點可生產1~24點(但硅片越小測溫點盡量減少,因為焊點需要打孔存在應力,另外需要排線,測溫點越多難度越高)

    d)使用環境為普通或者真空環境

    e)晶圓材質:硅片或藍寶石襯底片



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